5-osno rezkani keramični izolatorji za polprevodniško opremo in čiste prostore

V svetu proizvodnje polprevodnikov in čistih prostorov z visokimi vložki mora vsaka komponenta zagotavljati brezhibno delovanje.PFT, specializirani smo za ročna dela5-osno rezkani keramični izolatorjiki na novo opredeljujejo natančnost in zanesljivost. Z več kot 20Z dolgoletnimi izkušnjami so naše rešitve zasnovane tako, da izpolnjujejo stroge zahteve polprevodniške opreme, zagotavljajo toplotno stabilnost, električno izolacijo in delovanje brez kontaminacije v izjemno občutljivih okoljih.

Zakaj izbrati naše 5-osno rezkane keramične izolatorje?

1.Napredne proizvodne zmogljivosti

Naš objekt je opremljen znajsodobnejši 5-osni CNC rezkalni stroji, kar omogoča mikronsko natančnost pri oblikovanju napredne keramike, kot so aluminijev oksid (Al₂O₃), silicijev karbid (SiC) in aluminijev nitrid (AlN). Za razliko od običajnih metod 5-osna obdelava omogoča kompleksne geometrije – ključne za komponente, kot so dvigalni zatiči za rezine, deli komore za nanašanje in izolatorji, odporni na plazmo.

Ključne lastnosti:

•Natančnost:Toleranca ±0,005 mm za brezhibno integracijo v litografska orodja ASML ali jedkalne sisteme Lam Research.
•Vsestranskost materiala:Optimizirano za 99,8 % aluminijevega oksida, visoko čist SiC in drugo napredno keramiko.
•Površinska obdelava:Ra <0,2 μm za zmanjšanje nastajanja delcev v čistih prostorih ISO razreda 1.

2.Lastniški procesni inženiring

Naši inženirji so razvilikrmiljenje procesov z zaprto zankoki se med obdelavo prilagajajo krhkosti keramike. Z združevanjem tehnik suhega rezkanja z dušenjem vibracij v realnem času dosegamo površine brez razpok in podaljšano življenjsko dobo komponent – ​​tudi pri ekstremnih toplotnih ciklih (do 1600 °C).

Inovacije v središču pozornosti:

•Protokoli za lajšanje stresa:Zmanjšajte mikrorazpoke v AlN izolatorjih za CVD aplikacije.
•Obdelave po strojni obdelavi:HIP (vroče izostatično stiskanje) poveča gostoto in odpornost proti koroziji.

3.Strogo zagotavljanje kakovosti

Vsak izolator je podvržen12-stopenjski pregled, vključno z:

•KMS (koordinatni merilni stroj)validacija kritičnih dimenzij.
•Testiranje puščanja helijaza združljivost z vakuumom.
•EDS (energijsko-disperzivna rentgenska spektroskopija)za preverjanje čistosti materiala.

NašeSistem s certifikatom ISO 9001/14001zagotavlja sledljivost od nabave surovin (ki jih pridobivajo dobavitelji prvega reda, kot je CoorsTek) do končne embalaže.

Uporaba: Kjer se natančnost sreča z zmogljivostjo

Našim izolatorjem zaupamo pri:

•Orodja za jedkanje in nanašanje:Komponente s prevleko SiC za plazemsko odpornost v modulih Applied Materials™.
•Ionski implantatorji:Dvižni zatiči iz aluminijevega oksida z antistatičnim premazom za preprečevanje zdrsa rezin.
•Metrološki sistemi:Izolatorji z nizkim toplotnim raztezanjem za EUV litografske mize.

Študija primera:Vodilni proizvajalec originalne opreme za polprevodnike je s prehodom na naše po meri zasnovane tuš glave SiC, ki so pri obdelavi 300 mm rezin prekašale konkurenčne dele, zmanjšal čas izpada orodja za 40 %.

Onkraj proizvodnje: partnerski pristop

•Hitro prototipiranje:Pošljite svoje CAD datoteke in prejmite funkcionalne prototipe v 7 dneh.
•Embalaža za čiste prostore na kraju samem:Izbirna montaža za čiste prostore razreda 10 za neposredno integracijo orodij.
•Doživljenjska tehnična podpora:Naši inženirji nudijo analizo obrabe in storitve ponovne obdelave za podaljšanje življenjske dobe komponent.